产品简介
干式螺杆真空机组是以干式螺杆真空泵（或螺杆前级泵+罗茨增压泵组合）为核心的全无油真空获得设备。转子采用高精度间隙配合、无油润滑运行，杜绝油蒸气污染，满足高洁净工况，是锂电、制药、半导体、化工真空结晶等领域的主流洁净真空装备。
工作原理
螺杆泵等螺距或变螺距转子在泵腔内啮合旋转，气体被齿间容积捕获并轴向推送至排气口，全程无油、无接触。常与前级螺杆或罗茨增压泵串联：螺杆前级先抽常压气体建立预真空，罗茨增压泵接力大幅提升抽速，快速拉至高真空。变螺距机型在大气压下长期运行仍稳定，能耗更低；气冷/水冷夹套精准控温（通常<80℃）。
核心特点
- 零污染：无油蒸气返流，满足 ISO 8573-1 Class 0 无油空气标准。
- 高真空宽抽速：极限真空 0.1-5Pa，抽速覆盖 540-9000 m³/h。
- 节能：较传统油封系统综合能耗降低 20%-30%。
- 防腐与防爆：过流部件可做防腐涂层，抽酸性/有机溶剂蒸汽；支持防爆配置。
- 智能长运维：断水/过载/超温全自动保护、自动启停联动；无油结构免换油，可 7×24 连续运行。
适用范围
- 锂电：材料脱气、极片干燥
- 半导体：镀膜刻蚀、封装（纳米级颗粒控制）
- 制药：冻干（符合 GMP 洁净标准）
- 化工：真空蒸馏、溶媒回收、真空结晶
- 光伏：烧结；冶金：真空热处理
适配行业
干式螺杆真空机组全无油、零污染且支持防爆与防腐，是洁净与严苛工况的主流真空装备，主要适配以下行业：
- 锂电：正极/负极材料脱气、极片干燥，杜绝油蒸气污染电芯。
- 半导体：镀膜、刻蚀、封装等纳米级颗粒控制场景，满足超高洁净。
- 制药：冻干（符合 GMP 洁净标准），无油免污染。
- 化工：真空蒸馏、溶媒（有机溶剂）回收、真空结晶，过流部件可防腐涂层。
- 光伏、冶金：烧结、真空热处理与材料脱气。
- 适配要点：满足 ISO 8573-1 Class 0 无油标准；腐蚀/粉尘介质选防腐涂层并定期清灰，易燃易爆配防爆配置。
技术说明
- 极限真空：0.1-5Pa
- 抽速：540-9000 m³/h
- 泵组抽速配比：1:2 至 1:8 按需选配
- 标准配置：水冷夹套控温；材质可选 316L/防腐涂层
- 定制：流量、防腐、防爆、变频模块
选型提示
根据气体类型（腐蚀性、湿度、粉尘）、极限真空度、抽速需求匹配机型；优先全不锈钢或防腐涂层应对腐蚀介质。定期清理泵腔粉尘（建议每 2000 小时），监测轴承温度与振动；停机时充入干燥氮气防止内部锈蚀。
